氦离子色谱仪的出现为气体行业提供了重要的检测手段

　　氦离子色谱仪一般配备高纯氦气纯化器和氨离子化检测器（PHDID）。利用纯化器使得载气高纯氨纯化到杂质含量小于10ppb，使得载气纯度达到ppb级杂质含量的检测要求。配备的氨离子化检测器对基本物质的响应例如H2、O2、N2等都在5ppb以下，*各种超高纯气体杂质含量分析。仪器配置了带吹扫功能的气动阀，减少空气渗透的可能性。针对不同气体分析有专门设计的气路流程，一般一次进样就能实现所测气体的全分析。

　　软件工作站方便简单，能很好的实现色谱仪的自动化。针对毒性大的或者有腐蚀性气体等，还特别配置了吹扫系统和尾气处理系统，以及相应的防腐措施，使得分析采样过程安全可靠。此外该分析仪现也已成为一种常规的气体分析方法，它具有线性宽，灵敏度高等优点，对于高纯气体样品的分析和其他检测器相比，优势相当明显。经过和常规TCD+FD气相色谱法比较，对四氟化碳中的杂质进行检测，以期得到对于四氟化碳中杂质检测的方法，并为建立四氟化碳行业分析标准提供依据。

　　氦离子色谱仪能满足几乎所有气体和电子气体的杂质分析，具有高灵敏度、高线性、高重复性等特点，*能满足ppb级的杂质分析要求，各种气体的分析方法给气体行业提供了重要的检测手段和标准依据。应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

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